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2寸/4寸/6寸/8寸/12寸单晶硅片

产品材质:单晶硅
产品型号/尺寸:P型/N型单抛硅片
最小起订量:25
参考价格:¥电仪
关注度:320
产品详情

       上海鑫科汇信息技术有限公司是国内专业生产蓝宝石晶体,碳化硅单晶,单晶硅片,以及InP,ZnSe窗口,锗窗口材料等。公司拥有自己的工厂分别位于江苏无锡和湖北武汉,是国内较早专业提供半导体晶圆的公司。

        其中,单晶硅产品主要包括:2寸、4寸、6寸、8寸、12寸等尺寸齐全,P型、N型,晶向110,111,能够满足不同客户用途的需求。科大量现货供应。部分产品的参数表如下:

        

上海鑫科汇新材料有限公司 产品规格书

shanghai xinkehui new material  Co., Ltd Product Spec.

产品名称/ Product

4 英寸单抛硅片

版本

A

规格号 /Spe. No.

JX-2019-05-13-06

编制日期 /Date

2019-05-13

项目/ Exam Item

规格/Spec.

备注/ Remark

1.1 晶体参数 Cryscal

拉晶方式/ Growth method

CZ

/

晶向及偏离度/ Orientation

<100>/<110>

/

1.2 电学参数 Electrical

型号 / Type

/P

/

掺杂剂 /Doping

/B

/

电阻率 Resistivity (ohm-cm)

见硅片外包装标注值电阻率判定标准:中心点

电阻率径向变化 Resistivity

variation (%)

15%

测试方法:国标 B方案

计算公式:(Pmax-Pmin)/Pmin

寿命 /   Minority-Carrier

Lifetime (us)

/

/

1.3 结构参数 Structural

位错密度 Dislocation Density

(ea/cm2)

free

/

微缺陷

free

/

氧含量 Oxygen Conc.   (atm/cm3)

8.00E+17

/

氧的径向梯度

/

/

碳含量 Carbon Conc.   (atm/cm3)

5.00E+16

/

1.4 机械参数 Mechanical

直径及公差/ Diameter (mm)

100±0.2

/

主参考面

Primary Flat

方向 Orientation   (deg)

/

长度 length (mm)

/

副参考面

Secondary Flat

方向 Orientation   (deg)

/

长度 length (mm)

/

倒角

Edge profile

半角 half angle Deg)

22±1°

边缘类型 /Type

标准倒角

厚度 Thickness (um)

见硅片外包装标注值

/

弯曲度 Bow (um)

<30

/

翘曲度 Warp (um)

<30

/

总厚度变化 TTV (um)

<10

/

总平整度 TIR (um)

<10

/

局部平整度

STIR(um)(15mm*15mm)

<3

/

 

什么是半导体硅片  

硅片又称硅晶圆片, 是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手 段,可以制成集成电路和各种半导体器件。硅片是以硅为材料制造的片状物体,直径有 6英寸、 8 英寸、 12 英寸、18英寸等规格。单晶硅是硅的单晶体,是一种比较活泼的非金属元素,具有基本完整的点阵结构。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到 99.9999%,甚至达到 99.9999999%,杂质的含量降到 10-9的水平。采用西门子法可以制备高纯多晶硅,然后以多晶硅为原料,采用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长 出棒状单晶硅。单晶硅圆片按其直径主要分为 6 英寸、 8 英寸、 12 英寸及 18 英寸等。

半导体材料分为晶圆制造材料和封装材料。晶圆制造材料可以进一步细 分为硅片及硅基材料、光掩模板、电子气体、光刻胶、光刻胶辅助材料、 CMP 抛光材料、工艺化学品、靶材及其他材料。而封装材料可以进一步 细分为封装基板、引线框架、键合丝、包封材料、陶瓷基板、芯片粘结 材料和其他封装材料。

半导体硅片是全球应用最广泛、最重要的半导体基础材料,是制造芯片的基本衬底材料,也是唯一贯穿各道芯片前道制程的半导体材料,目前全球半导体市场中,90%以上的芯片和传感器都是基于硅材料制造而成,其在晶圆制造材料中占比**。


 

 


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